微型振动平台振动源驱动分析解说，结合柔性铰链机构的微型振动平台，通过计算机设计控制电压波形，对其进行三维振动控制。通过实验证明，该机构具有良好的波形跟踪性能，易于实现复杂控制波形，适用于微型机械的动态性能测试。
仅适用于大型机械的测试实验，对于微型机械而言，目前为止，尚无理想的测试和实验方法。本文研究了一种以压电元件为驱动源，结合柔性铰链机构的微型三支点振动平台，通过计算机设计和输出电压波形，控制平台的三维振动特性，以适应不同测量对象的测试要求。

微型振动平台机械结构设计，整个振动台由底座、压电元件控制的二级柔性铰链 放大机构、圆柱柔性铰、平台四大部分等组成。对压电元件施加以设定波形的电压，压电元件随之伸长，经过柔性铰链连接的二级杠杆放大机构放大，在柔性铰链端部得到一个输出，经过圆柱柔性铰带动平台振动。为了尽量减小平台振动时刚性变形对柔性铰链机构的影响，设计和加工了图示圆柱柔性铰，使之能自动对平台的横向微小位移进行调整。柔性铰链机构设计根据柔性铰链转角与力矩之间的关系式(1)和压电元件电学量、力学量之间的关系式(2)，可以设计出合理的柔性铰链位移放大机构外加电压，柔性铰链和振动平台性能测试实验柔性铰链性能测试拆去图，结束语以上对标准压力源的自校准方法进行了讨论，笔者在研制压力表自动检定系统时，针对所用压力传感器的情况采用了上述中的线性插值算法，实现了系统的自校准功能。事实表明，仪器采用软件自校准，既方便快捷，又能提高仪器性价比。